【中科院蘇州納米所5nm激光光刻研究獲進展】
據中科院官網報道,近日,中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所研究員張子旸與國家納米中心研究員劉前合作,在Nano Letters上發表了題為5 nm Nanogap Electrodes and Arrays by a Super-resolution Laser Lithography的研究論文,報道了一種新型5nm超高精度激光光刻加工方法。
傳統上,激光直寫可利用連續或脈沖激光在非真空的條件下實現無掩模快速刻寫,降低了器件制造成本,是一種有競爭力的加工技術。然而,激光直寫技術由於衍射極限以及鄰近效應的限制,很難做到納米尺度的超高精度加工。
蘇州納米所張子旸團隊基於光熱反應機理設計開發了一種新型三層堆疊薄膜結構。在無機鈦膜光刻膠上,采用雙激光束(波長為405nm)交疊技術(圖a),通過精確控制能量密度及步長,實現了1/55衍射極限的突破(NA=0.9),達到了最小5nm的特征線寬。此外,研究團隊利用這種超分辨的激光直寫技術,實現了納米狹縫電極陣列結構的大規模制備(圖b-c)。
相較而言,采用常規聚焦離子束刻寫,制備一個納米狹縫電極需要10到20分鐘,而利用本文開發的激光直寫技術,可以一小時制備約5×105個納米狹縫電極,展示了可用於大規模生產的潛力。
該研究使用了研究團隊開發的具有完全知識產權的激光直寫設備,利用激光與物質的非線性相互作用來提高加工分辨率,有別於傳統的縮短激光波長或增大數值孔徑的技術路徑,打破了傳統激光直寫技術中受體材料為有機光刻膠的限制,可使用多種受體材料,擴展了激光直寫的應用場景。
研究團隊針對激光微納加工中所面臨的實際問題出發,解決了高效和高精度之間的固有矛盾,開發的新型微納加工技術在集成電路、光子芯片、微機電系統等眾多微納加工領域展現了廣闊的應用前景。
小貼士:光刻技術的種類
觀察者網查詢發現,激光直寫技術是基於光學的無掩模光刻技術的一種。近年來,隨著光刻分辨率的不斷提高,掩模的成本呈直線上升的態勢,無掩模光刻技術也成為研究熱點。
無掩模光刻技術的種類較多,主要分為基於光學的無掩模光刻技術和非光學無掩模光刻技術兩大類。去年曝光通過驗收的中科院研制的“超分辨光刻裝備”,其采用的表面等離子體(surface plasma,SP)光刻法則是非光學無掩模光刻技術的一種。
除了無掩模光刻技術,目前主流的光刻技術還有極紫外光刻技術和納米壓印技術。
其中極紫外光刻技術是最有可能達到量產化要求的光刻技術。極紫外光刻技術使用波長為13.5 nm的極紫外光,經過由80層Mo—Si結構多層膜反射鏡組成的聚光系統聚光後,照明反射式掩模,經縮小反射投影光學系統,將反射掩模上的圖形投影成像在矽片表面的光刻膠上。
納米壓印光刻技術則采用高分辨率電子束等方法將納米尺寸的圖形制作在“印章”上,然後在矽片上塗上一層聚合物,用已刻有納米圖形的硬“印章”“壓印”聚甲基丙烯酸甲酯塗層使其發生變形,從而實現圖形的復制。
光子芯片 在 文茜的世界周報 Sisy's World News Facebook 八卦
6/21日國際政治經濟新聞重點𢑥整:
1)【川普就任總統以來的最大危機!】川普當前的最大危機,是來自墨西哥美國邊界孩子們「我想媽媽」的哭聲。川普日前公佈的打擊非法移民的「零容忍」政策,已到國內憤怒、國際嘩然、聯合國譴責的地步。美國眾議院議長萊恩:21日美國眾議院將投票 讓越境者家庭不用再被分離。6月20日,美國眾議院議長萊恩表示,明日眾議院將就移民提案投票,以求在邊境的「越境者」家庭不用被分離。瑞恩表示,提案規定,越境者在等待移民法院審判時,將與孩子在拘留所中一同等待,而避免被分離的情況。「我們不認為家庭應該被分離,這不容質疑」。—AP
2) 【華爾街日報影音視頻:為什麼美國的移民問題這麼難解決?】- 自2016年總統大選以來,移民問題就是美國政壇的一個燙手山芋。共和黨和民主黨都在試圖找到解決途徑,但目前的情況變得愈發複雜。為什麼會弄成這樣?《華爾街日報》的Gerald F. Seib解釋,這涉及到兩黨對中期選舉選票的盤算。http://t.cn/RBFujN7
3)【在各界壓力下,川普簽署行政令暫停拆散移民家庭】- 美國總統川普週三發佈行政令稱,尋求庇護的移民家庭應該在「適當以及符合法律和現有資源的情況下」一起被拘留。他還保留了政府春季早些時候制定的「零容忍」移民政策,即所有企圖非法入境美國的成年人,都會被起訴。川普在行政令中還指示美國國防部為移民家庭的居住和看護提供設施。
目前尚不清楚上述行政令將如何影響與被拘禁成年人一同入境的兒童受對待的方式。也不清楚數千名被拘留在邊境的兒童處境,這些兒童的境遇已引發美國國內越來越多抗議。川普此舉標誌著一定程度的退讓。眾議院議長萊恩表示,週四眾議院將就一項廣泛的移民法案舉行投票,該法案內容包括結束邊境分離狀況。
http://t.cn/RrvS0D5–華爾街日報
4)【川普叫停拆散非法移民家庭的做法】美國總統受到強烈批評後簽署行政命令,停止執行將美墨邊境非法移民子女與父母拆散的政策,以平息各界憤怒。http://t.cn/RrvIg16 http://mapi/6538fd8cly1fsihyfk0qmj20sg0g1n7r—FT
5)【俄中日英加19國同時減持美債 俄羅斯最誇張減持近50%】根據美國財政部6月15日披露的最新數據,持有美國國債的外國當局在今年4月間紛紛減持,在前十大「債主」中,只有巴西和開曼群島沒有減持美國國債。第一和第二大「債主」中國和日本在4月間分別減持58億和123億美元,英國、印度、加拿大、韓國、墨西哥、瑞士、愛爾蘭等國也加入減持行列。俄羅斯持有美國國債的規模從今年3月的961億美元下降到4月的487億美元,一個月內減持超過49.5%。—財聯社
6)【美國商務部長將鋼價上漲歸咎於投機】羅斯稱將調查關稅出台後美國鋼價漲幅偏高的情況,一些參議員批評白宮引入鋼鋁關稅的方式「混亂」和「無能」。http://t.cn/RrvXsny http://mapi/6538fd8cly1fsiito0f49j20sg0g00xq—FT
7) 【因川普發動貿易戰 賓士母公司下調了今年盈利預期】戴姆勒認為,美國汽車進入中國市場的進口關稅提高,奔馳SUV銷量預期將有下滑,成本也將更高。戴姆勒將奔馳EBIT預期下調至「略低於此前一年的水平」。
http://t.cn/RrviFzu —WSJ
8)【美參議員:要求調查華為與美大學研究合作項目】當地時間19日,由「反華急先鋒」、美參議員盧比奧牽頭的26名國會跨黨派議員致信給教育部長,指出華為與數十所美國大學的研究合作項目,對美國家安全構成了威脅,要求教育部調查「華為創新研究計劃」和其他項目的合作情況。http://t.cn/RrvSrLW —觀察者網
9)【川普稱正努力解決圍繞中興協議的擔憂】- 美國總統川普週三表示,他和議員們正在努力解決圍繞華盛頓和北京之間達成的一項旨在解決中興通訊協議的擔憂。川普在白宮會見了20幾名議員以尋求解決對這項協議的異議,這些議員多數為共和黨。這次會議的前一天,參議院投票通過對中興通訊恢復禁令。當川普被問及將如何試圖說服反對該協議的議員時,他告訴記者,「我們正在為此努力」。當被問及恢復禁令是否會影響他與朝鮮的外交努力時,川普說,「完全不會」。
http://t.cn/RrvxVCX—WSJ
10)【鮑威爾:經濟穩健為進一步加息提供理由】- 美聯準會主席鮑威爾表示,美國經濟穩健增長為繼續徐緩上調利率提供了有力理由。他對決策者越來越對美聯準會接近實現就業和穩定物價的目標而感到自滿提出警告。鮑威爾定於在歐洲央行於葡萄牙辛特拉舉行的年度政策會議上發表講話。他在準備好的演講稿中強調了允許失業率降至遠低於長期預期水平的風險。鮑威爾表示,他認為幾乎沒有出現泡沫的風險,但他指出,前兩次美國經濟擴張是在科技行業和房地產市場的金融失衡爆發後結束的,而不是通脹過高導致的過熱。
http://t.cn/RrvtCWG—WSJ
11)【美聯準會主席鮑威爾:漸進加息的理由依然「強大」】美聯準會主席鮑威爾週三重申了他提出的加息理由。其週三表示,「鑒於失業率低並且預計將進一步下降,通脹接近美聯準會的目標,以及經濟前景的風險大體均衡,因而持續逐步上調聯邦基金利率的理由是強大的。」 —路透社
12)【歐盟週五將對美國實施第一輪報復性關稅】- 歐盟將從週五開始對進口自美國的商品實施報復性關稅,以此回應美國總統川普宣佈對歐盟執行鋼鋁關稅的行為。歐盟委員會週三發佈聲明稱,將對價值28億歐元進口自美國的商品立即執行關稅行動,歐盟最終將會把關稅行動針對的商品總價值上調至64億歐元。根據歐盟向WTO提交的清單,歐盟第一輪關稅行動涉及從波本威士忌到哈雷戴維森摩托車等多種商品,這些商品將被徵收25%的關稅。http://t.cn/RrvOyTQ—WSJ
13) 【下一場危機已經蓄勢待發?】中美貿易摩擦再度升溫,A股昨天出現「千股跌停」,滬指也跌破3000點大關。雖然中國經濟「穩中向好」的基本面未變,但全球經濟大週期卻貼近了下一個輪迴。美聯準會加息,全球信貸質量惡化,債券市場流動性下降,下一場危機的配方已經備齊。 —經濟學人雜誌
14)【中國審計署:九家國有銀行違規向房地產行業提供融資】- 中國國家審計署週三表示,去年有九家國有銀行違規向國內房地產行業提供融資人民幣360.9億元。審計署沒有公佈這九家銀行的名稱。審計署在報告中稱,抽查的個人消費貸款中也有部分實際流入樓市股市。審計署稱,在抽查的60家小型貸款公司中,有40家沒有從業資質,有的以學生為主要客戶。審計署還發現,有五個地區2017年8月以後違規舉債人民幣32.4億元,還有三個地區政府違規提供擔保人民幣9.78億元。審計署沒有提到具體是哪些地區。http://t.cn/RrvWdfq—WSJ
15) 【小米將香港IPO融資目標下調至不超過60億美元】- 據知情人士透露,中國智慧手機生產商小米打算在下個月香港首次公開募股中融資不超過60億美元,遠低於之前預計的100億美元。此前,小米放棄了同步在中國大陸上市的計劃。這些知情人士稱,小米計劃推進其香港上市計劃,將向投資者發行21.8億股股份,發行價指導區間在17-22港元。知情人士稱,小米的估值尚不清楚。但是根據最近的估計,小米的估值在550億美元至700億美元之間,上市股份可能佔到小米總股本的10%。http://t.cn/RrvNRW811–WSJ
16) 【以色列正研發超級晶片:比傳統晶片快100倍 體型更小】以色列希伯來大學物理學家烏利埃爾·利維及其研究團隊一直致力於研發一種全新的芯片技術,經過3年多的不懈努力,研究工作日前終於有了結果。他們利用「金屬—氧化物—氮化物—氧化物—硅」結構,開發了一種新型集成光子迴路制備技術,據此可以在微芯片上使用閃存技術,有望使個頭兒更小、運行速度更快的光子芯片成為現實,其運算頻率甚至可以達到太赫茲量級,從而將使計算機及相關光學通信設備的運行速度提高100倍。—Bloomberg
17)【中國貴州的大數據熱潮】2015年,中國中央宣佈將貴州建成發展大數據的「國家級試驗區」。官方數據顯示,貴州現有大數據公司8500多家,是2013年的八倍多。科技熱潮大多發生在人口300萬的貴陽及其周邊,一本旅遊指南中的貴陽地圖上標示了這裡的多個數據中心。 —經濟學人雜誌
18)【朝鮮很快向美國歸還朝鮮戰爭時期美軍士兵遺骸】- 據一位美國官員稱,預計朝鮮政府將於未來一到兩天內向美國移交逾250名美軍士兵的遺骸,落實特朗普和金正恩上周新加坡峰會之後達成的聯合聲明內容。這些遺骸將被送往美國駐韓國的烏山空軍基地,駐韓美軍司令Vincent Brooks屆時將在該基地的停機坪上舉行接收儀式,之後將這些遺骸送至夏威夷希卡姆空軍基地接受檢測以確認身份。
據信這批移交的超過250具遺骸大部分將為20世紀50年代朝鮮戰爭以來失蹤的美國士兵。但上述美國官員稱這些遺骸混在一起,表明其中可能會有其他國籍士兵的遺骸。這名官員稱,其他國籍士兵的遺骸將歸還給他們的國家。http://t.cn/RrvCXHC—WSJ
19) 【摩根士丹利大幅下調恆生指數目標位 稱香港股市的拋售遠未結束】摩根士丹利策略師剛剛把恆生指數的12個月目標大幅下調約10%至27,200點。新目標意味著恆生指數將從1月高點下跌約18%,接近通常表明市場進入熊市的調整幅度。恆生指數週三收於29,696點。摩根士丹利認為,利率上升、人民幣貶值和美中貿易關係惡化,這些因素將共同威脅亞洲經濟增長和企業利潤。雖然該行策略師還下調了其他6個指數的目標位,但香港由於其與美國貨幣政策的緊密關係以及香港公司盈利對中國大陸的依賴性,因此顯得尤為脆弱。「我們認為恆生指數短期內有進一步大幅下跌的風險,」 Jonathan Garner等策略師週三在一份報告中寫道,投資者在這個關鍵時刻應該特別關注減少對香港股票的曝險。—RTV
20)【回顧】美國著名智庫彼得森國際經濟研究所提供的數據顯示,美國的對華擬加徵關稅清單包括在2017年總價值460億美元的中國進口產品,相當於去年中國對美總出口量的9%;而中國做出的反擊可能影響到價值約500億美元的美國進口產品,佔2007年美國對華出口總量的38%。http://t.cn/RrvdvQc —經濟學人雜誌
21)【分析:貿易戰使美國在華企業面臨抵制風險】川普憤怒的對華貿易逆差沒有考慮美企在華銷售額,中國反擊川普還有很多彈藥,包括鼓勵民眾抵制美貨。http://t.cn/RrvrtLp —FT
22)【中國對美直接投資暴跌逾90% 創七年最低:今年前5個月,中國針對美國的投資和並購等直接投資金額同比狂降92%,只有18億美元,創七年多最低。計入96億美元的美國資產剝離,則中國對美直接投資淨值為負78億美元。—WSJ
23)【德國大型車企提議取消歐美汽車進口關稅】- 美國駐德國大使Richard Grenell週三將返回華盛頓與川普政府磋商事宜,屆時他將把德國汽車行業龍頭企業提出的一項和平提議轉達給美國總統川普。據知情人士透露,德國汽車生產商的提議很簡單:取消歐盟與美國之間的所有汽車進口關稅。這將意味著,歐盟取消對進口自美國和其他國家的汽車徵收的10%關稅,美國取消對進口汽車徵收的2.5%關稅。前提條件是歐洲希望川普不再威脅對進口自歐洲的汽車加徵25%的關稅。http://t.cn/Rrvu8sl—WSJ
24)【星巴克股價重挫9% 因投資者擔憂其中美市場成長前景】美國咖啡連鎖店星巴克股價週三大跌逾9%,因其公佈的銷售預測令人失望,促使華爾街分析師質疑其能否在美國和中國市場保持成長。中國是其第二大市場,僅次於美國。星巴克週二預測第三季全球可比店鋪營收僅增長1%,低於華爾街預期的3%。這促使幾名分析師調降了星巴克的評級,並下調了其12個月股價目標。星巴克表示,預計在截至6月的三個月,在中國營收沒有成長。—NYT